由于目前濾芯使用條件下，未冷卻硅塵極為細小，質(zhì)量極輕，易浮于太空，增大空間內(nèi)的粉塵密度，且氬氣流量每分鐘*100ml，流速極低，除塵器選型受物理條件限制，而且，還會由于粉塵比電阻等特性影響除塵效率，使用濕式除塵可能使吸塵器進入真空泵而影響吸塵器壽命，袋式除塵器雖可捕集細粉、干粉，其除塵效率也很高，但由于空間有限，粉塵密度繼續(xù)升高，濾孔易堵塞，造成單晶爐出氣流量下降，降低了單晶爐的產(chǎn)量。

　　無論過濾方式如何，無非是一種對靜電的消除和導(dǎo)走，如果你說的是對靜電的消除和導(dǎo)走，那么需要借助一根靜電消除棒或?qū)o電的導(dǎo)走，如對靜電的毛刷類的導(dǎo)走，這樣做比較簡單;如果是對靜電的導(dǎo)走，如靜電繩，靜電毛刷類的導(dǎo)走;